质量流量计是采用感热式测量，通过分体分子带走热量多少从而来测量流量，因为是用感热式测量，所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果 。
    即气体流过加热元件时将热量带走，带走的热量与气体的流速和气体的密度成正比。为了保持两个温度传感器的固定温差需要电路对加热元件提供更多的功率，电路中输出功率的大小与流体的质量有关，由此测量流量。
    此方法，日系发动机常用。相对应的另外一种发动机常用的测量进气量的方法是速度密度法，为欧美系发动机常用。
硬件故障若出现误差偏大，积算器显示不亮或不增值，显示器空白位等现象，其原因：
1.安装不规范，可直接导致流量计零漂，如质量流量计安装在泵出口处较近，传感器支撑强度不够，连接法兰焊接不当产生应力信号，电缆受电磁干扰。
2.工艺介质变化若测量介质出现夹气，气化或两相流等现象，变送器会出现报警显示，严重时，传感器停止工作。
3.变送器失效。
4.传感器失效。
5.接线问题若出现显示器不亮现象，应检查积算器电源连线，若出现保险丝被烧，应确认输入电压与标准电压标称值，交直流形式是否一致。又若出现积算器不随流量增加时，应检查积算器接线，若积算器装有正/反向程序，应检查流量计接线，因流量计接线不正确，会使积算器在反向流时不递增。
6.管道吹扫问题。
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