是否进口否	产地北京
加工定制否	品牌七星华创
型号KT	类型质量流量计
测量范围详询m3/h	订货号详询
货号详询	精度等级详询
公称通径详询mm	适用介质气体
工作压力详询MPa	工作温度详询℃
规格详询	是否跨境货源否

概览
气体质量流量控制器(mfc)和气体质量流量计(mfm)用于对气体的质量流量进行 精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环 保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括： 集成电路工 艺设备，如外延炉、扩散炉、cvd、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机； 以及镀膜设备、 光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及 其它分析仪器。
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是七星电子生产的数字型产品,为气体质量流量的控制、 测量提供了高准确度及高可靠性。该型产品可同时支持数字信号，0~5v 模拟信号，4~20ma 或 0~20ma 模拟信号，可以使用双电源(±8~±16 vdc)或单电源(+14~+28 vdc)。支持自动故障报警，多气体多量程等功能。标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件 提供便利。提供功能强大的免费客户端上位机软件 digital mfc。cs200-c 与 cs200-d 产品所有与气体接触的表面均为不锈钢金属，其中 cs200-c 金属表面符合 semi 标准的要求。
cs200-a,c,d mfc 默认配置为：mac 地址：32；rs485 通信波特率：19200；控制方式：0~5v 电压控制。 更多细节请参考产品附带光盘中的“cs 系列 mfc 通讯协议”。
标定
cs200-a,c,d mfc/mfm 可以按照用户的要求来标定。如果用户没有说明工作情况等信息，
则按照标准状况标定。
1、标准状况
出口压力：大气压气体质量流量通常用标准状态下的体积流量来表示，质量流量单位为：
sccm：标准毫升/分钟slm：标准升/分钟标准状态：温度 0°c (273.15k)气压：101325pa (760mm hg)
在标准状态下，气体的密度是一个常数，该密度乘以标准状态下的体积就是质量数，所以标准状态下的体积流量就等同于质量流量。mfc/mfm 的标准安装位置为水平安装，同时为客户提供垂直(进气口向上或向下)、平躺及其它位置的安装，为保证的测量精度，用户购买时应该说明设备的安装方式。
2、制造环境
cs200-a,c,d 型 mfc/ mfm 是在温度为 22±2°c的 100 级的净化间内组装，1000 级净化环境下标定及包装。
3、精度调节cs200-a,c,d 型 mfc/mfm 在制造完成后都要在相应的标定台上烤机 24 小时，然后进行精确标定。精度、动态响应、压力变化的稳定性等指标须经过两次检查,合格后方可出厂。
使用须知
尊敬的用户，感谢您购买本公司生产的 cs 系列气体质量流量控制器/质量流量计产品。本手册详细叙述了正确、安全使用该系列产品的必要事项。
产品使用者，请务必认真参阅本手册并理解后使用，在使用过程中，请注意带有标志的文字及注意事项中包含的所有内容。
对于未按照使用手册使用造成的财产损失或人身伤害，本公司有权不承担责任。本手册在您安装、维护及故障维修时必不可少，请妥善留存保管。
注意事项
下列注意事项请结合使用手册查看。未按照注意事项进行操作所产生的一切后果本公司不予承担。

---

郑州科探仪器设备有限公司
邱女士
15515570926
河南 郑州 中原区 河南省郑州市高新技术开发区长椿路11号国家大学科技园C1F2楼